石墨盒的预热和预处理方法
一、预热
1、烘干之后的石墨盒由生产、工艺、设备进行检查,如果发现没有损坏,接着一起将石墨盒进行预热。
2、把需要预热的舟放到空闲的炉管,接着用手把真空泵的阀门打开,这个炉管是不进行工艺的。
3、温馨提示:预热时石墨盒内不放硅片。
二、预处理(饱和)
1、把空的再次检查石墨盒,确保其完好,然后把它放进炉管开始进行预处理,其他的流程和正常的生产工艺没有差别。
2、需要留意的是在“淀积”时,工艺需要一个小时,接着再进行其他的步骤。
3、工艺完成后,经工艺人员确认后,这个石墨舟就可以投入其他生产中了。
4、建议预处理(饱和)正常时间在200-240分钟。
5、为了更好地延长石墨盒的使用寿命,建议不在空舟状态下进行预处理,最好装上假片或废片。